一种超小型1×2微机械光开关 |
| |
作者姓名: | 鲍俊峰 邹勇卓 吴兴坤 |
| |
作者单位: | 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光及电磁波研究中心,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光及电磁波研究中心,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光及电磁波研究中心,杭州,310027 |
| |
摘 要: | 设计制作了一种非硅基底的1×2微机械光开关,利用电磁驱动微反射镜运动实现输出端口切换,开关时间<3 ms,封装尺寸缩小至21 mm×16 mm×12.6 mm,驱动电压5 VDC,经5×106次开关重复性测试,性能稳定.
|
关 键 词: | 光纤通讯 光开关 微机械 |
收稿时间: | 2003-07-21 |
修稿时间: | 2003-07-21 |
本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录! |
| 点击此处可从《光子学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《光子学报》下载全文 |
|