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| 移动互联网络时代MEMS技术的创新发展(续) | |
| 作者姓名： | 赵正平 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司 |
| 摘 要： | 1.6 RF MEMS1979年第一个RF MEMS诞生,是Si上的微机械薄膜开关,经多年的发展,RF MEMS主要包含薄膜体声波谐振器(FBAR)、微机械谐振器、电容开关/变容器和金属接触开关等。RF MEMS的诞生为射频电路中无源元件的小型化开辟了新的 |
| 关 键 词： | 微机械谐振器 表面微机械 接触开关 可调谐滤波器 石英振荡器 插入损耗 电容 变容器 谐振频率 微扬声器 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |