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晶体硅表面Ag纳米颗粒形貌控制及其对黑硅性能的影响
引用本文:贾淑婷,王苏尧,韩志达,夏金威,薛丹丹,张磊.晶体硅表面Ag纳米颗粒形貌控制及其对黑硅性能的影响[J].人工晶体学报,2015,44(2):520-524.
作者姓名:贾淑婷  王苏尧  韩志达  夏金威  薛丹丹  张磊
作者单位:常熟理工学院物理与电子工程学院,常熟,215500
基金项目:国家自然科学基金(51371004);江苏省高校自然科学研究项目(14KJB480001)
摘    要:采用湿法化学法在太阳能级Si(100)表面沉积Ag纳米颗粒,并对Ag颗粒进行了退火处理.利用扫描电子显微镜研究了不同沉积时间及退火工艺对硅片表面Ag纳米颗粒形貌的影响规律.在此基础上采用退火前后的Ag纳米颗粒辅助化学腐蚀法制备了黑硅减反射结构,并用扫描电子显微镜观察了所制备黑硅的微结构,用紫外-可见分光光度计研究了所制备黑硅的反射率.研究表明,制备的Ag颗粒为不规则片状结构,并且随Ag沉积时间的延长,Ag颗粒逐渐长大.通过对样品退火处理,Ag颗粒收缩成球状纳米颗粒.利用未退火的Ag颗粒制备的黑硅呈不规则纳米线状微结构,在300 ~ 1100 nm范围内平均反射率为2.7;;而利用退火后球状Ag纳米颗粒制备的黑硅则呈多孔状微结构,同样波长范围内平均反射率为14.2;.

关 键 词:Ag纳米颗粒  黑硅  反射率  太阳能电池  

Morphology Control of Ag Nanoparticles Deposited on c-Si Surface and Its Influence on the Properties of Black Silicon
JIA Shu-ting;WANG Su-yao;HAN Zhi-da;XIA Jin-wei;XUE Dan-dan;ZHANG Lei.Morphology Control of Ag Nanoparticles Deposited on c-Si Surface and Its Influence on the Properties of Black Silicon[J].Journal of Synthetic Crystals,2015,44(2):520-524.
Authors:JIA Shu-ting;WANG Su-yao;HAN Zhi-da;XIA Jin-wei;XUE Dan-dan;ZHANG Lei
Institution:JIA Shu-ting;WANG Su-yao;HAN Zhi-da;XIA Jin-wei;XUE Dan-dan;ZHANG Lei;College of Physics & Electronic Engineering,Changshu Institute of Technology;
Abstract:
Keywords:
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