| 氮气辉光放电阴极鞘层重粒子输运过程研究 |
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| 引用本文： | 于威,张连珠,李晓苇,韩理,陈艳梅,傅广生.氮气辉光放电阴极鞘层重粒子输运过程研究[J].物理学报,1999,48(9):1701-1708. |
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| 作者姓名： | 于威 张连珠 李晓苇 韩理 陈艳梅 傅广生 |
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| 作者单位： | 河北大学物理系，保定 071002 |
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| 基金项目： | 河北省自然科学基金(批准号：597058)资助的课题. |
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| 摘 要： | 采用蒙特卡罗模拟对氮气辉光放电等离子体阴极鞘层内离子(N2+,N+)和快中性分子(N2f)的输运过程进行了研究，计算了阴极鞘层中离子(N2+,N+)和快中性分子的能量及角分布的空间变化，较好地解释了实验结果.得到了氮气辉光放电等离子体阴极附近主要存在着能量较低的荷能分子、密度较低的高能原子离子及密度和能量居中的分子离子.诸粒子状态随放电条件而变化.模拟结
关键词：
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| 关 键 词： | 氮气 等离子体 辉光放电 鞘层 粒子输运 |
| 收稿时间： | 1998-07-13 |
HEAVY PARTICLE TRANSPORT PROCESS IN CATHODE SHEATH OF NITROGEN GLOW DISCHARGE |
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| YU WEI,ZHANG LIAN-ZHU,LI XIAO-WEI,HAN LI,CHEN YAN-MEI and FU GUANG-SHENG.HEAVY PARTICLE TRANSPORT PROCESS IN CATHODE SHEATH OF NITROGEN GLOW DISCHARGE[J].Acta Physica Sinica,1999,48(9):1701-1708. |
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| Authors: | YU WEI ZHANG LIAN-ZHU LI XIAO-WEI HAN LI CHEN YAN-MEI and FU GUANG-SHENG |
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| Abstract: | The ions(N2+,N+) and fast nitrogen molecular (N2f) transport process in cathode sheath of nitrogen glow discharge plasma is studied by using Monte Carlo simulation. Spatial variation of energy distribution and a |
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| Keywords: | |
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