An interferometric method for measurement of the thermal conductivities of solids

An interferometric method is described for the determination of small deformations of a solid surface when heated by a c.w. gaussian laser beam, from which temperature increase and thermal parameters can be derived. A discussion of the method is presented and applied to the measurement of thermal conductivity, for two different situations of an unrestrained or restrained sample heated with a c.w. laser. Experimental results are finally given for a semiconductor crystal of Si.

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Zusammenfassung Eine interferometrische Methode zur Bestimmung kleiner, beim Erhitzen mit einem Laserstrahl auftretenden Deformationen einer festen Oberfläche, aus denen die Temperaturerhöhung und thermische Parameter abgeleitet werden können, wird beschrieben. Die Methode wird diskutiert und ihre Eignung zur Bestimmung der Wärmeleitfähigkeit bei zwei verschiedenen Situationen einer mit einem c.w. Laser erhitzten unrestrained oder restrained Probe aufgezeigt. Experimentelle Ergebnisse werden für einen Silicium-Halbleiterkristall mitgeteilt.

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