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射频磁控管溅射沉积InN薄膜
引用本文：晓予.射频磁控管溅射沉积InN薄膜[J].电子材料快报,1999(6):10-11.
作者姓名：晓予
摘    要：
关 键 词：氮化铟  薄膜  射频磁控管  溅射  沉积
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