| 基于压电驱动的纳米级精密定位系统的研究 |
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| 引用本文： | 曲东升,孙立宁,王建国,秦昌.基于压电驱动的纳米级精密定位系统的研究[J].压电与声光,2002,24(6):506-509. |
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| 作者姓名： | 曲东升 孙立宁 王建国 秦昌 |
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| 作者单位： | 1. 哈尔滨工业大学,机器人研究所,哈尔滨,150001
2. 哈尔滨工业大学,博实精密测控有限责任公司,哈尔滨,150006 |
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| 基金项目： | 国家"八六三"计划基金资助项目(2001AA423110) |
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| 摘 要： | 利用压电陶瓷致动器作为驱动元件设计了X-Y两自由度精密定位工作台,并利用有限元分析法对机构进行了优化设计,采用电阻应变片作为微位移检测传感器,在此基础上设计了闭环控制器,该控制器包括压电陶瓷驱动单元、微位移传感器检测单元和中央处理单元,最后利用PID控制法进行了闭环控制实验研究。实验结果表明,本系统具有较好的控制品质和优异的动态性能,在对10μm×10μm两自由度工作台的控制中,闭环控制精度达10nm,阶跃响应的稳定时间小于8ms。
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| 关 键 词： | 压电驱动 纳米级 精密定位系统 压电陶瓷致动器 闭环控制 微位移机构 |
| 文章编号： | 1004-2474(2002)06-0506-04 |
| 修稿时间： | 2002年10月10 |
Study on Precision Nano-positioning System Based on Piezo Actuator |
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