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| 1.55μm MOEMS可调谐光滤波器调谐性能模拟 | |
| 作者姓名： | 左玉华 毛容伟 王良臣 余金中 王启明 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,集成光电子国家重点实验室,北京,100083;中国科学院半导体研究所,集成光电子国家重点实验室,北京,100083;中国科学院半导体研究所,集成光电子国家重点实验室,北京,100083;中国科学院半导体研究所,集成光电子国家重点实验室,北京,100083;中国科学院半导体研究所,集成光电子国家重点实验室,北京,100083 |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划(973项目G2000036603)，863高技术发展计划( 2002AA312010 )，国家自然科学基金(No. 90401001) |
| 摘 要： | 建立了等效单层梁模型和一维集总模型，用经典力学理论和传输矩阵方法模拟了多层材料构成且具有四臂固支梁结构的1.55 μm Si基MOEMS (Micro-Opto-Electro-Mechanical-Systems)可调谐滤波器的调谐特性.模拟调谐系数与实验结果吻合较好. |
| 关 键 词： | MOEMS 可调谐滤波器 Fabry-Perot 表面微机械 |
| 收稿时间： | 2004-03-09 |
| 修稿时间： | 2004-03-09 |
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