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英特尔推动EUV光刻技术研发
摘 要:
英特尔公司正投大量精力用于远紫外线(EUV)光刻技术(用于制造未来微处理器的技术)开发,现在已经在EUV技术上取得两项重要成果里程碑式的突破。该公司安装了全球第一套商用EUV光刻工具,并建立了一条EUV掩模试产线,表明该技术已从研发阶段进入试验阶段。英特尔预计此技术将于2009年开始应用到大批量生产中。
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EUV
光刻技术
掩模
英特尔
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微处理器
大批量生产
试验阶段
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