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光学博里叶分析的测厚应用
作者姓名:张绪宽 张祖全 柯璇
摘    要:通过对频率域的傅里叶分析,导出衍射场变换域的经验公式,应用激光检测精细物体的线度.

关 键 词:傅里叶变换 衍射场 空间频谱 氦氖激光器 变换域 厚度测量 线度检测
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