| 微结构光寻址电位传感器阵列芯片的研制 |
| |
| 引用本文： | 韩泾鸿,张虹,顾丽波,徐磊,陈绍凤,王利,王蕾.微结构光寻址电位传感器阵列芯片的研制[J].微纳电子技术,2003,40(7):391-394. |
| |
| 作者姓名： | 韩泾鸿 张虹 顾丽波 徐磊 陈绍凤 王利 王蕾 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080 |
| |
| 摘 要： | 详细介绍了采用MEMS技术研制的三维微结构LAPS阵列芯片,芯片表面划分成5×7个敏感单元,其中每个敏感区表面设置40×40个硅尖阵列,芯片背面对应地形成光耦合阵列窗口.一个5×7矩阵的红外LED作为光源控制的耦合到芯片背面的阵列窗口.给出了LAPS阵列芯片的扫描电镜照片和多种生化参数的光寻址测试结果,分析讨论了芯片厚度、LAPS曲线线性度对系统性能的影响.
|
| 关 键 词： | 微结构 光寻址电位传感器 阵列芯片 微电子机械加工 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0391-04 |
| 修稿时间： | 2003年5月15日 |
Study and fabrication of microstructure array chip based on light addressable potentiometric sensors |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
