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| 静电陀螺维持真空的复合泵技术 | |
| 引用本文： | 昝春燕,冯玉才,昝德海,屠启基,张军安. 静电陀螺维持真空的复合泵技术[J]. 中国惯性技术学报, 2006, 14(5): 55-57 |
| 作者姓名： | 昝春燕 冯玉才 昝德海 屠启基 张军安 |
| 作者单位： | 1. 天津航海仪器研究所,天津,300131 2. 总装备部驻天津地区军事代表室,天津,300131 3. 秦皇岛渤船重工机械有限公司,秦皇岛,066003 |
| 摘 要： | 静电陀螺仪的真空保持是影响其精度、可靠性和使用寿命的关键技术之一。结合消气剂和离子泵的各自优缺点,研制了一种由非蒸散型消气剂泵与冷阴极溅射离子泵组成的复合泵。采用(?)9mm×7mm的消气剂器件,消气剂泵最大吸气量≥6．3×10-3Pa·m3,确保离子泵在1×10-2Pa真空条件下启动,抽至ESG工作压力P=仅2分钟,而复合泵的寿命提高到100 000 h,为以前的5倍。 |
| 关 键 词： | 静电陀螺仪 真空保持 消气剂泵 离子泵 |
| 文章编号： | 1005-6734(2006)05-0055-03 |
| 修稿时间： | 2006-08-19 |
Vacuum maintenance composite pump to ESG |
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| ZAN Chun-yan,FENG Yu-cai,ZAN De-hai,TU Qi-ji,ZHANG Jun-an. Vacuum maintenance composite pump to ESG[J]. Journal of Chinese Inertial Technology, 2006, 14(5): 55-57 | |
| Authors: | ZAN Chun-yan FENG Yu-cai ZAN De-hai TU Qi-ji ZHANG Jun-an |
| Abstract: | |
| Keywords: | ESG vacuum maintenance getter pump ion pump |
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