铀与UO2表面铝薄膜生长行为的俄歇电子能谱分析 |
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引用本文: | 周韦,刘柯钊,杨江荣,肖红,陆雷,蒋春丽.铀与UO2表面铝薄膜生长行为的俄歇电子能谱分析[J].工程物理研究院科技年报,2004(1):272-273. |
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作者姓名: | 周韦 刘柯钊 杨江荣 肖红 陆雷 蒋春丽 |
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摘 要: | 主要利用俄歇电子能谱(AES)原位分析了室温下铀与UO2表面铝薄膜的生长行为。在俄歇电子能谱仪超高真空室中,利用Ar^+枪溅射铝靶,使其沉积到铀基体上,然后利用电子枪适时采集表面俄歇电子能谱,原位分析铝薄膜的生长过程。在UO2表面沉积铝膜时,先往真空室中充入氧气,将清洁铀表面氧化成UO2,然后再溅射铝靶原位沉积制备铝薄膜。
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关 键 词: | 表面沉积 生长行为 铝薄膜 UO2 电子能谱分析 俄歇电子能谱仪 铀 原位分析 |
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