透明板两表面平行度的精确测量 |
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作者姓名: | 丁金陵 |
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作者单位: | 安徽大学 |
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摘 要: | 本文给出两种利用激光精确测量透明板两表面平行度的原理和相应的具体方法:反射法与干涉法。在这两者中,两表面不平行所相应的楔角α有如下关系式;(1)α=(d_1-d_2)/2n1;(2)α=H△y/2n~2d~2_(ps1)。式中:d_1及d_2分别为表面反射的两聚焦光点在空间位置1与2时的距离,1为屏在位置1与2的距离;H为透明板的厚度,△y为表面反射光所形成的非定域的园形干涉环中心的位移,d_(psl)为屏与第
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