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| 超光滑表面及其制造技术的发展 | |
| 引用本文： | 高宏刚,曹健林,朱镛,陈创天. 超光滑表面及其制造技术的发展[J]. 物理, 2000, 29(10): 610-614 |
| 作者姓名： | 高宏刚 曹健林 朱镛 陈创天 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院北京人工晶体研究发展中心北京 100080；中国科学院应用光学国家重点实验室长春 130022 2. 中国科学院应用光学国家重点实验室长春 130022 3. 中国科学院北京人工晶体研究发展中心北京 100080 |
| 摘 要： | 超光滑表面制造技术是超精密加工技术的一个重要分支。通过介绍超光滑表面的特征、应用及其制造技术的发展，希望给出超光滑表面技术的整体轮廓。在介绍超光滑表面的概念及其主要特征的基础上，通过典型例证指出了超光滑表面的软X射线光学、激光陀螺等科技领域的重要应用。回顾了超光滑表面制造技术的发展过程，对各种超光滑表面加工原理与方法进行了简单描述与评价。最后提出了对超光滑表面制造技术的发趋势的观点。 |
| 关 键 词： | 超精密加工 超光滑表面 抛光 粗糙度 |
| 修稿时间： | 2000-01-31 |
THE DEVELOPMENT AND APPLICATION OF ULTRA-SMOOTH SURFACES |
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| GAO Hong-Gang. THE DEVELOPMENT AND APPLICATION OF ULTRA-SMOOTH SURFACES[J]. Physics, 2000, 29(10): 610-614 | |
| Authors: | GAO Hong-Gang |
| Abstract: | We present an overview of ultra|smooth surfaces including their characteristics, application and the development of the relevant machining techniques. Based on the properties of ultra|smooth surfaces, important applications of such surfaces in high|technology fields are presented through some typical examples. Progress in ultra|smooth machining technology is reviewed, and typical machining methods and principles are described. Finally,future trends in ultra|smooth processing technology are discussed. |
| Keywords: | ultra|precision machining ultra|smooth surface polishing roughness |
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