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硅与非硅材料“混搭”难题解决
摘 要:
<正>美国加州大学戴维斯分校的科学家最近展示了一种具有三维结构的纳米线晶体管,并借助该技术成功将硅与非硅材料集成到了一个集成电路中。研究人员称,该技术有望帮助硅材料突破瓶颈,为更快、更稳定的电子和光子设备的制造铺平道路。硅是目前最常见的一种电子材料,但它并不是万能的。建立在传统蚀刻工艺基础的硅集成电路在尺寸上
关 键 词:
硅材料
纳米线
硅集成电路
晶体管
加州大学
戴维斯
三维结构
电子材料
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