| 多晶硅炉氩气导流系统设计与数值模拟优化 |
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| 引用本文： | 苏文佳,左然,程晓农,狄晨莹. 多晶硅炉氩气导流系统设计与数值模拟优化[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(5): 1236-1242 |
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| 作者姓名： | 苏文佳 左然 程晓农 狄晨莹 |
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| 作者单位： | 江苏大学能源与动力工程学院,镇江212013;江苏大学材料科学与工程学院,镇江212013;江苏大学能源与动力工程学院,镇江,212013;江苏大学材料科学与工程学院,镇江,212013 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金青年基金(51206069);高等学校博士学科点专项科研基金(20123227120017);江苏省自然科学基金青年基金(BK2012295);江苏大学高级专业人才科研启动基金(1281130015);江苏省博士后科研资助计划(1301049C) |
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| 摘 要： | 在DSS法多晶硅生长中,为了降低氧碳含量,作者利用CGSim软件,分析了三种传统氩气导流系统的优缺点,以此为基础设计了一种中心和侧面双排气的新型导流系统,并对其进行了设计和数值模拟优化.模拟得出以下结论:多晶铸锭炉三种传统氩气导流系统中,石墨坩埚上部开大孔且有盖板时,有利于控制氧碳含量和固/液界面;新型多晶铸锭炉氩气导流系统中,中心氩气进口管伸入上盖板时,有利于降低多晶硅的氧碳含量;随着石墨坩埚上部开口高度h逐渐增大,中心出口氩气流速逐渐减小,侧面出口氩气流速增大,当h=20 mm时,有利于降低多晶硅的氧碳含量.研究结果为生长高质量的多晶硅提供了理论依据.
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| 关 键 词： | 多晶硅 数值模拟 氩气导流 固/液界面, |
Design and Numerical Optimization of Ar Flow Guiding System in Polysilicon Furnace |
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| SU Wen-jia,ZUO Ran,CHENG Xiao-nong,DI Chen-ying. Design and Numerical Optimization of Ar Flow Guiding System in Polysilicon Furnace[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2014, 43(5): 1236-1242 |
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| Authors: | SU Wen-jia ZUO Ran CHENG Xiao-nong DI Chen-ying |
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