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化学气相沉积制备铜锌合金微米杆
引用本文:靳英坤,李焕勇.化学气相沉积制备铜锌合金微米杆[J].人工晶体学报,2014,43(6):1376-1380.
作者姓名:靳英坤  李焕勇
作者单位:西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室,西安,710072
基金项目:国家自然科学基金(51072164);航空科学基金(2013ZF53076)
摘    要:采用化学气相沉积的方法,以锌粉、硝酸铜为原料,在硅衬底上制备了铜锌合金微米杆.用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线能谱(EDS)对沉积产物的结构、形貌和成分进行了测试与表征.结果表明,生长的铜锌合金微米杆为金属间化合物Cu3Zn合金,为立方相结构,直径在0.1 ~5 μm之间,长度可达3~30μm.锌在铜锌合金微米杆的生长中起着至关重要的作用.铜锌合金微米杆的生长属于气固反应诱导下的气液固(VLS)生长机制,与经典的气液固(VLS)生长机制具有明显不同的特点.

关 键 词:Cu3Zn  合金微米杆  化学气相沉积  生长机制  

Preparation of Cu-Zn Alloy Micron Rods by Chemical Vapor Deposition
JIN Ying-kun,LI Huan-yong.Preparation of Cu-Zn Alloy Micron Rods by Chemical Vapor Deposition[J].Journal of Synthetic Crystals,2014,43(6):1376-1380.
Authors:JIN Ying-kun  LI Huan-yong
Abstract:
Keywords:
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