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| 基于AVR单片机的高精度光学测厚系统设计 | |
| 引用本文： | 赵兴龙.基于AVR单片机的高精度光学测厚系统设计[J].光学技术,2014(6):539-542. |
| 作者姓名： | 赵兴龙 |
| 作者单位： | 宁夏师范学院物理与信息技术学院; |
| 摘 要： | 对薄膜测厚系统进行了详尽剖析,从整体上论述了膜厚测量系统,研究了测厚系统中薄膜测厚仪的关键硬件电路,对薄膜测厚仪的软件流程进行了离散设计。以AVR单片机为核心处理器进行了数据采集和处理,设计并生产出了在线式光学薄膜厚度测量与监控系统。通过与实际膜厚进行对比实验,验证了薄膜测厚系统具有高精度、高稳定性和高可靠性,可应用于实际工业生产。 |
| 关 键 词： | 光学测厚 高精度 AVR单片机 测量与监控 |
Design of high precision optical thickness measurement system based on AVR single chip microcomputer |
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