|
|||||
|
|
| 微加工准分子激光器 | |
| 引用本文： | 张粹伟,晴天.微加工准分子激光器[J].激光与光电子学进展,1996,33(1):15-19. |
| 作者姓名： | 张粹伟 晴天 |
| 作者单位： | 张粹伟: 晴天: |
| 摘 要： | 微加工准分子激光器准分子激光器用作材料微加工和表面修整中的光刻紫外辐射源。目前，世界上有十多家公司和企业致力于准分子激光器的设计生产。业已广告亮相的激光器类型达７０多种。１９９２年的销售量，达到约３５００万美元［‘］。业已生产几种激光器的辐射波长：１... |
| 关 键 词： | 准分子激光器 微加工 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |