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| 横向电压型压力传感器灵敏度的几何效应 | |
| 引用本文： | 鲍敏杭,齐薇佳,王言.横向电压型压力传感器灵敏度的几何效应[J].半导体学报,1987,8(4):345-350. |
| 作者姓名： | 鲍敏杭 齐薇佳 王言 |
| 作者单位： | 复旦大学电子工程系 (鲍敏杭，齐薇佳)，复旦大学电子工程系(王言) |
| 摘 要： | 本文报道了制作在(001)硅长方膜中心区域的二组共十种几何设计的横向电压型压力传感器的灵敏度测试分析结果.得到了电源电极短路效应和输出电极短路效应引起的灵敏度几何因子与器件尺寸的关系.实验结果与数值分析所得的结果相当符合.这些结果为横向电压型压力传感器几何图形的设计提供了有用的准则. |
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