| 扫描电镜微米级长度测量实验中不确定度的评定方法 |
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| 引用本文： | 张海良,张学骛,贾红辉,常胜利. 扫描电镜微米级长度测量实验中不确定度的评定方法[J]. 大学物理实验, 2009, 22(1): 79-81 |
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| 作者姓名： | 张海良 张学骛 贾红辉 常胜利 |
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| 作者单位： | 国防科技大学,长沙,410073;国防科技大学,长沙,410073;国防科技大学,长沙,410073;国防科技大学,长沙,410073 |
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| 摘 要： | 讨论了近代物理实验中用扫描电子显微镜（SEM）进行微米级测量长度的不确定度评定方法。
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| 关 键 词： | 微米级测量 不确定度 扫描电子显微镜 |
EVALUATION METHOD OF THE UNCERTAINTY FOR THE MEASUREMENT OF MICRON GRADE LENGTH BY SEM |
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| Zhang Hailiang,Zhang Xueao,Jia Honghui,Chang Shengli. EVALUATION METHOD OF THE UNCERTAINTY FOR THE MEASUREMENT OF MICRON GRADE LENGTH BY SEM[J]. Physical Experiment of College, 2009, 22(1): 79-81 |
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| Authors: | Zhang Hailiang Zhang Xueao Jia Honghui Chang Shengli |
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| Affiliation: | National University of Defense Technology;Changsha;410073 |
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| Abstract: | The evaluation method of the uncertainty for the micro-scale measurement by SEM in modern physics experiment is discussed in this paper. |
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| Keywords: | micro-grade measurement uncertainty SEM |
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