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| 制膜技术与装置 | |
| 摘 要： | O484.12007010582δ掺杂对Si衬底GaN蓝光LED外延膜性能的影响研究=Effect ofδ-doping on performance of GaN blue LED epi-taxial fil ms on Si substrates刊,中]/程海英(南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心.江西,南昌(330047)),方文卿…//光学学报.—2006,26(8).—1269-1273用X射线衍射方法通过不同晶面的ω扫描测试,分析了Si衬底GaN蓝光LED外延膜中n-型层δ掺杂Si处理对外延膜结晶性能的影响。报道了Si衬底GaN外延膜系列晶面的半峰全宽(FWHM)值。通过使用晶格-旋转(Lattice-rotation)模型拟合,计算出样品的螺位错密… |
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