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| Ⅲ-Ⅴ/Si混合集成波导高效耦合的容差范围 | |
| 引用本文： | 王天甲,张瑞英,王杰.Ⅲ-Ⅴ/Si混合集成波导高效耦合的容差范围[J].半导体技术,2019,44(12):925-931. |
| 作者姓名： | 王天甲 张瑞英 王杰 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院,合肥230026;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏苏州 215123;中国科学院多功能材料与轻巧系统重点实验室,江苏苏州 215123;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏苏州 215123;中国科学院多功能材料与轻巧系统重点实验室,江苏苏州 215123 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;江苏省重点研发计划(产业前瞻与共性关键技术)资助项目;江西省自然科学基金 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | Ⅲ-Ⅴ/Si混合集成波导 耦合效率 双锥形耦合器 有限差分光束传播法(FD-BPM) 容差范围 |
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