低损伤选择性发射极太阳电池激光工艺 |
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引用本文: | 宋帅迪,赵广全,杨冬琴,张竹青,王强.低损伤选择性发射极太阳电池激光工艺[J].半导体技术,2019,44(11):893-898. |
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作者姓名: | 宋帅迪 赵广全 杨冬琴 张竹青 王强 |
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作者单位: | 南通大学信息科学技术学院,江苏南通,226019;河海大学,南京,210098;江苏东鋆光伏科技有限公司,江苏江阴,214421 |
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基金项目: | 江苏省高等学校自然科学研究重大项目;江苏省科技成果转化专项;江苏省产学研前瞻性联合研究项目;江苏省研究生科研与实践创新计划项目 |
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摘 要: |
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关 键 词: | 选择性发射极(SE)太阳电池 激光 选择性掺杂 钝化发射极及背面接触(PERC) 磷硅玻璃(PSG) |
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