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带宽超30 GHz的850 nm方形横向耦合腔VCSEL(英文)
作者姓名:佟海霞  王延靖  田思聪  蒋宁  李浩  佟存柱  魏志鹏
作者单位:1. 长春理工大学物理学院高功率半导体激光国家重点实验室;2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所发光学及应用国家重点实验室
基金项目:Supported by National Key R&D Program of China(2021YFB2801000)~~;
摘    要:如今,人们对研究耦合腔面发射激光器结构的兴趣逐渐增加。这种结构通过向主腔施加调制电的同时向每个反馈腔施加直流电来实现带宽提升。然而,单独驱动主腔对器件性能的影响尚未得到深入研究。为了更全面地了解耦合腔激光器,我们设计并制备了边长为30μm×30μm的方形横向耦合腔VCSEL,并研究了在方形横向耦合腔中单独驱动主腔时器件性能的变化。室温下,-3 dB带宽达30.1 GHz,在非归零调制下,在背对背传输速率40 Gbit/s时获得清晰的眼图,相对强度噪声值为-160 dB/Hz。证明了反馈腔在不加驱动的条件下仍会对主腔的性能提供正向作用。设计的TCC-VCSEL器件只需要一个电源驱动,使其适用于高密度集成,为封装集成应用提供了新的思路。

关 键 词:垂直腔面发射激光器  横向耦合腔  高速
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