|
|||||
|
|
| 用原子力显微镜4π旋转技术测量靶丸表面粗糙度 | |
| 作者姓名： | 高党忠 王明达 |
| 作者单位： | 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 |
| 基金项目： | 国家863惯性约束聚变领域资助课题 |
| 摘 要： | 原子力显微镜靶丸４π旋转装置，可以将靶丸在夹持状态下实现４π方向旋转，便于原子力显微镜对靶丸表面任一部分做扫描测量。应用该装置对各种靶丸的表面形貌进行了测量，测量结果表明，靶丸外表面粗糙度小于１０ｎｍ，内表面粗糙度小于２０ｎｍ。 |
| 关 键 词： | 原子力显微镜；靶丸4π旋转测量装置；ICF靶参数测量 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |