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| 一种新型谐振式微加速度计设计和分析 | |
| 引用本文： | 何高法,唐一科,何晓平,刘世明.一种新型谐振式微加速度计设计和分析[J].微纳电子技术,2007(8). |
| 作者姓名： | 何高法 唐一科 何晓平 刘世明 |
| 作者单位： | 重庆大学,机械工程学院,重庆,400030;重庆科技学院,机械系,重庆,400050 重庆大学,机械工程学院,重庆,400030;重庆科技学院,机械系,重庆,400050 中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900 重庆科技学院,机械系,重庆,400050 |
| 摘 要： | 为提高谐振式加速度计的灵敏度,设计了基于两级微杠杆机构和DETF谐振器的新型谐振式微加速度计结构;用解析法分析了加速度计灵敏度和结构各参数之间的关系,并以此对结构参数进行了优化设计.理论计算表明,所设计的加速度计灵敏度约为56 Hz/g;由有限元仿真分析也得出了相似的结论. |
| 关 键 词： | 微机电系统 微加速度计 谐振 微杠杆 |
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