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热处理对Agx O薄膜结构及成份的影响
引用本文:郜小勇,刘萍,陈永生,王海燕,卢景霄.热处理对Agx O薄膜结构及成份的影响[J].人工晶体学报,2005,34(6):1158-1162.
作者姓名:郜小勇  刘萍  陈永生  王海燕  卢景霄
作者单位:郑州大学材料物理教育部重点实验室,郑州,450052;郑州大学材料物理教育部重点实验室,郑州,450052;郑州大学材料物理教育部重点实验室,郑州,450052;郑州大学材料物理教育部重点实验室,郑州,450052;郑州大学材料物理教育部重点实验室,郑州,450052
基金项目:国家自然科学基金(No.69878003)资助项目
摘    要:利用X射线衍射谱(XRD)和X射线光电子谱(XPS)研究了热处理对AgxO样品的结构及成份的影响.研究结果表明所有制备的AgxO样品基本为无定型,并且AgO和Ag2O两种成份共存;两组具有代表性的AgxO样品经过高温热处理后分别呈现了(Ag+Ag2O)和Ag2O的多晶结构,结构及成份的巨大差异与样品制备条件息息相关;AgO和Ag2O两种成份的热分解临界温度分别为200℃和300℃;热处理过程中,伴随着AgxO的热分解及体内的氧原子向样品表面的扩散过程,并且Ag2O具有相对致密的结构.

关 键 词:热分解  反应溅射  临界温度  扩散系数
文章编号:1000-985X(2005)06-1158-05
收稿时间:03 29 2005 12:00AM
修稿时间:2005-03-29

Effect of Thermal Treatment on the Structure and Component of AgxO films
GAO Xiao-yong,LIU Ping,CHEN Yong-sheng,WANG Hai-yan,LU Jing-xiao.Effect of Thermal Treatment on the Structure and Component of AgxO films[J].Journal of Synthetic Crystals,2005,34(6):1158-1162.
Authors:GAO Xiao-yong  LIU Ping  CHEN Yong-sheng  WANG Hai-yan  LU Jing-xiao
Institution:The Key Laboratry of Material Physics of Ministry of Education, Zhengzhou University, Zhengzhou 450052, China
Abstract:
Keywords:thermal decomposition  reactive sputtering  critical temperature  diffusion coefficient
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