| 离子的轰击对Si衬底上金刚石核附着力的影响 |
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| 引用本文： | 王必本,王万录,廖克俊,肖金龙,方亮.离子的轰击对Si衬底上金刚石核附着力的影响[J].物理学报,2001,50(2):251-255. |
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| 作者姓名： | 王必本 王万录 廖克俊 肖金龙 方亮 |
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| 作者单位： | 重庆大学理学院应用物理系,重庆400044;重庆大学理学院应用物理系,重庆400044;重庆大学理学院应用物理系,重庆400044;重庆大学理学院应用物理系,重庆400044;重庆大学理学院应用物理系,重庆400044 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:19904016)资助的课题. |
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| 摘 要： | 利用扫描电子显微镜和原子力显微镜对负衬底偏压增强金刚石核化的过程进行了分析,从理论上探索了负衬底偏压作用下离子的轰击效应增强金刚石核在Si衬底上附着力的机理,给出了金刚石核与衬底的附着力和衬底负偏压之间的关系.
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| 关 键 词： | 金刚石膜 离子轰击 核化 附着力 |
| 修稿时间： | 9/4/2000 12:00:00 AM |
INFLUENCE OF ION BOMBARDING ON ADHESION FORCE OF DIAMOND NUCLEI ON Si SUBSTRATE |
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| WANG BI-BEN,WANG WAN-LU,LIAO KE-JUN,XIAO JIN-LONG and FANG LIANG.INFLUENCE OF ION BOMBARDING ON ADHESION FORCE OF DIAMOND NUCLEI ON Si SUBSTRATE[J].Acta Physica Sinica,2001,50(2):251-255. |
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| Authors: | WANG BI-BEN WANG WAN-LU LIAO KE-JUN XIAO JIN-LONG and FANG LIANG |
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| Abstract: | The enhanced nucleation process of diamond by negative substrate bias was investigated by scanning electron microscopy and atomic force microscopy. The mechanism of enhanced joint adhesion of diamond nuclei on Si substrate by ion bombardment was theoretically approached, and the relationship between negative substrate bias and adhesion of diamond nuclei on Si substrate was given. |
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| Keywords: | diamond films ion bombardment nucleation adhesion force |
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