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InP/SiO_2纳米复合膜的微观结构和光学性质
引用本文:丁瑞钦,王浩,W.F.LAU,W.Y.Cheung,S.P.WONG,王宁娟,于英敏.InP/SiO_2纳米复合膜的微观结构和光学性质[J].物理学报,2001,50(8).
作者姓名:丁瑞钦  王浩  W.F.LAU  W.Y.Cheung  S.P.WONG  王宁娟  于英敏
作者单位:1. 广东省五邑大学薄膜与纳米材料研究所,
2. 香港中文大学电子工程系暨材料科技研究中心,
3. 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,
基金项目:国家自然科学基金 (批准号 :6 980 6 0 0 8),广东省自然科学基金(批准号 :970 716 ),中山大学超快速激光光谱学国家重点实验室开放课
摘    要:应用射频磁控共溅射方法在石英玻璃和抛光硅片上制备了InP SiO2 复合薄膜 ,并在几种条件下对这些薄膜进行退火 .X射线光电子能谱和卢瑟福背散射实验结果表明 ,复合薄膜中InP和SiO2 的化学组分都大体上符合化学计量配比 .X射线衍射和激光喇曼谱实验结果都证实了复合薄膜中形成了InP纳米晶粒 .磷气氛保护下的高温(5 2 0℃ )退火可以消除复合薄膜中残存的In和In2 O3 并得到了纯InP SiO2 纳米复合薄膜 .实验观察到了室温下纳米复合薄膜的明显的光学吸收边蓝移现象和光学非线性的极大增强

关 键 词:InP  纳米晶粒  微观结构  光学性质

THE MICROSTRUCTURE AND OPTICAL PROPERTIES OF THE NANOCOMPOSITE FILMS OF InP/SiO_2
DING RUI\|QIN,WANG HAO.THE MICROSTRUCTURE AND OPTICAL PROPERTIES OF THE NANOCOMPOSITE FILMS OF InP/SiO_2[J].Acta Physica Sinica,2001,50(8).
Authors:DING RUI\|QIN  WANG HAO
Abstract:
Keywords:InP  nanocrystals  microstructure  optical property
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