| 光学微瓶腔特性及温度传感应用研究 |
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| 作者姓名： | 肖中威 柴明钢 王梦宇 谢成峰 郭状 张磊 吴涛 伏燕军 |
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| 作者单位： | 1. 南昌航空大学江西省光电信息科学与技术重点实验室;2. 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（Nos.51865040,41871229,42175130,62101230）;;江西省自然科学基金（Nos.20202BABL212011,20202BABL211010,20202BABL212013,20203BBG73039）; |
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| 摘 要： | 设计并测试了两种基于微瓶腔结构的温度传感系统。分别基于电弧放电法和自主装法制备了氧化硅材料(SiO2)和紫外光固化胶(UCA)聚合物材料微瓶腔,通过锥形光纤耦合的方式分析了两种微瓶腔基本特性,并测试它们在温度传感中的应用。实验结果表明,SiO2微瓶腔在温度上升时的灵敏度为11.13 pm/℃,在温度下降时的灵敏度为10.25 pm/℃;UCA微瓶腔在温度上升时的灵敏度为111.89 pm/℃,在温度下降时的温度灵敏度为102.02 pm/℃。两者在上升和下降时均保持很好的一致性,尤其UCA微瓶腔温度灵敏度比SiO2微瓶腔提升了10倍。本文传感器具有体积小、价格低、可塑性和重复性好、灵敏度高等优势,在温度传感领域具有潜在应用。
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| 关 键 词： | 光学微腔 传感器 温度 回音壁模式 |
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