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用于聚合物传感的表面增强红外银天线阵列
作者姓名:朱恒亮  宋芳  张馨予  郑传涛  王一丁
作者单位:1. 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区;2. 吉林省红外气体传感技术工程研究中心
基金项目:国家自然科学基金(Nos.62105118,62175087,62235016,61960206004);;吉林省科技发展计划(Nos.20200401059GX,20230201054GX);
摘    要:红外光谱技术因分子吸收截面较小限制了其灵敏度,采用光学性质相似且价格更低的银阵列替代金阵列,在节约成本的同时,利用表面增强红外吸收效应,以提高微量分析物的检测灵敏度。分别设计了微米尺度的中空十字形与六边形天线阵列结构,使用时域有限差分算法进行数值仿真,研究了天线尺寸对超表面光学性能的影响。利用紫外曝光技术,以银作为沉积金属,实现低成本、大尺寸天线阵列的制备。利用傅里叶红外光谱仪测量超表面基底,在400~800 cm-1的中红外波段实现了表面增强吸收,十字形天线与六边形天线结构的消光系数最高分别可达20%与24.5%。为了评估超表面的传感性能,分别在硅基底和六边形结构的超表面基底上涂覆聚甲基丙烯酸甲酯,六边形天线结构在483.14 cm-1处实现了2.85倍的增强吸收,增强因子为1 995。

关 键 词:红外光谱  表面等离激元  表面增强红外  天线阵列  超表面
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