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碳化硅作为新一代宽禁带半导体材料,在高温、高频、高功率、抗辐照电子器件中有着十分广阔的潜在应用前景.文章结合作者的工作,综述了离子束技术在SiC研究中的应用,其中包括SiC的合成、掺杂、器件隔离和智能剥离. 相似文献
5.
聚碳硅烷/纳米镍粉的热裂解 总被引:3,自引:0,他引:3
聚碳硅烷/纳米镍粉的热裂解王军*宋永才冯春祥(国防科学技术大学材料工程与应用化学系长沙410073)关键词聚碳硅烷,纳米材料,镍,热解,碳化硅纤维1996-09-17收稿,1996-12-13修回国家攻关计划和“863”高技术资助项目聚碳硅烷(PCS... 相似文献
6.
采用溶胶凝胶法,以蔗糖和正硅酸乙酯(TEOS)为原料,草酸为TEOS水解的催化剂,制备均相碳化硅前驱体,在氩气氛和高温条件下(1 350~1 600 ℃)将碳化硅先驱体进行碳热还原,制备出高比表面积的SiC。考察了水/TEOS物质的量的比、碳/硅物质的量的比及镍盐等因素对碳化硅比表面积的影响。结果表明,当nwater/nTEOS=7.5,nC/nSi=4时,适宜的镍催化剂(nNi/nTEOS=0.005),凝胶形成的时间最短,镍盐的加入可使碳热还原温度降低200 ℃。 相似文献
7.
用热分析技术TG-DTA(thermal gravimetric and differential thermal analysis)测定浆料中碳化硅粉体对分散剂聚乙二醇PEG(polyethylene glycol)的吸附量. 结果显示PEG在Ar气氛中411.5 ℃时完全分解; 碳化硅表面分散剂PEG的吸附量随着pH的增大而下降, 在较高pH下大多数分散剂仍存在于溶液中; 分散剂PEG的吸附量通过公式(1)进行计算. 该方法简单方便, 可以应用于测量氧化物或非氧化物吸附紫外-可见分光光度法不能测定的一些有机聚合物分子. 相似文献
8.
碳化硅水基浆料体系的流变性能的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
通过碳化硅水悬浮液的Zeta电位的测量及不同实验条件下浆料粘度的测定,研究了浆料pH值,固相含量,转速及添加剂对碳化硅水基浆料稳定性及流变性能的影响,结果表明,碳化硅浆料的粘度随着固相含量增加,Zeta电位绝对值减小而增大,添加剂Al(OH)3溶胶可以改善SiC浆料的流变性能。 相似文献
9.
多晶3C-SiC薄层的淀积生长及结构性能分析 总被引:1,自引:0,他引:1
采用HFCVD生长法,以较低生长温度,在Si(111)衬底上淀积3C-SiC(111)薄层。用XRD、VASE、XPS等分析手段研究了薄层的结构、光学常数、组分及化学键等性能。XRD显示薄层具有明显的择优取向特征。VASE测量出薄层的折射率为2.686,光学常数随深度的变化曲线反映出薄层的多层结构。XPS深度剖面曲线表明薄层中Si/C原子比符合SiC的理想化学计量比,其能谱证明C1s与Si2p成键形成具有闪锌矿结构的3C-SiC。 相似文献
10.
本文研究了碳化硅(SiC)作为保护渣熔速调节剂的特性及作用机理,研究表明,以SiC替代炭质材料可大大降低保护渣对超低碳钢连铸坯的增碳和渗碳量。 相似文献