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室温下Sol-Gel法制备BiFeO3薄膜的铁电和介电性 总被引:1,自引:0,他引:1
采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法,在LaNiO3包覆的SiO2/Si衬底上采用不同退火工艺制备了BiFeO3薄膜。原子力显微镜研究表明,薄膜表面光滑,并由不同大小的晶粒组成。X-射线表明不同样品结晶程度不同,并根据不同的退火工艺分别呈(010)择优取向和随机取向。2种取向的薄膜的双剩余极化强度分别为2.84μC/cm2和2.56μC/cm2。择优取向的薄膜在低频下的介电常数和介电损耗较大,且其薄膜中观察到大漏电流。并对两薄膜的导电机制用空间电荷限制的电导理论进行了分析。 相似文献
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通过sol-gel法在Si (111) 基片上分别制备了LaNiO3(LNO)底电极和LaNiO3/La0.3Sr0.7TiO3 (LNO/LSTO)底电极.然后采用sol-gel 方法,在两种衬底上分别制备了Pb (Zr0.5Ti0.5)O3 (PZT)铁电薄膜.XRD分析表明,两种PZT薄膜均具有钙钛矿结构,且在LNO底电极上的PZT薄膜呈(100) 择优取向,而在LNO/LSTO底电极上的PZT薄膜呈随机取向.铁电性能测试表明,相对LNO衬底上制备的PZT薄膜,在LNO/LSTO底电极上制备的PZT薄膜的剩余极化强度得到了有效的增强,同时矫顽场也增大.介电常数和漏电流的测试表明,LNO/LSTO底电极上制备的PZT薄膜具有大的介电常数和漏电流.
关键词:
PZT薄膜
铁电性
漏电流
0.3Sr0.7TiO3')" href="#">La0.3Sr0.7TiO3 相似文献
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