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1
1.
一种新型真空微电子压力传感器的研制
总被引:4,自引:0,他引:4
张正元
徐世六
温志渝
黄尚廉
张正
《微电子学》
2001,31(2):97-99,120
采用各向异性腐蚀与各向同性腐蚀相结合的技术和特殊的硅-硅键合技术,成功地研制出了一种新型真空微电子压力传感器。测试分析结果表明,该传感器反向击穿电压达到100V;在加3V正向电压时,其单个锥尖发射电流为0.2nA;在25-100g的压力范围内与输出电压呈线性关系,灵敏度为0.1μA/g。
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