电子束缩小投影曝光机对准模拟软件应用

介绍了用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件及标记图形，模拟出标准对准的背散射信号，并与实际实验信号图形进行了对比。     

缩小投影电子束曝光系统的成像反差

结合原理说明了理想条件下的照明束与角度限制光阑可获得最佳成像反差，详细讨论了照明束与角度限制光阑处于非理想情况时对成像反差的影响及理想条件的调试方法。     

缩小投影电子束曝光原理论证机

系统阐述了缩小投影（或纳米投影）电子束曝光技术的原理,以及如何将一台透射电镜改装为原理论证机的主要过程。内容包括机械结构的变动、电子光路的选择、调焦及曝光、成像系统的逐步演化、实验曝光结果与结论。     

电子束缩小投影曝光机数字对准处理技术

介绍电子束缩小投影响曝光机对准系统的构成及原理，阐述数字处理技术在对准系统中的应用，以及对准数据的产生及数字处理的软件设计，并给出实际测试结果。     

电子束缩小投影曝光机对准模拟软件设计

文章介绍了对准技术，设计出用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件，阐述其数学模型和算法设计，并模拟出标记对准的背散射信号。