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描述用SOI技术制造的光耦合MOS继电器和多量子阱长波和红外探测器,以及集成异质结晶体管和激光二管于一体的高增益,高灵敏的光电子开关器件,文中着重介绍这些器件的结构,制造工和器件特性,并对其进行了讨论。  相似文献   
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