MOS器件中的边界陷阱

文章主要介绍了ＭＯＳ器件中边界陷阱的特点、性能、形成机理及对器件性能的影响。给出了二种边界陷阱的理论模型，阐述了它的微观结构，研究发现快、慢二种边界陷阱有着不同的缺陷结构，同时还讨论了Ｃ－Ｖ测试技术和ＤＴＢＴ测试技术二种测量边界陷阱的方法，最后讨论了边界陷阱的退火效应以及与界面态陷阱和氧化物陷阱的联系与区别，并对所得出结果进行了讨论。