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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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在历年的金帆奖评比中,不乏各大精品综艺节目的影子。其中,每年的央视春晚更是各个获奖单元的常客。时间虽然已经过去一年有余,但2019央视猪年春晚节目依然给我们留下深刻印象。本文将从全新技术、创意设计、设备系统三个方面,对2019央视春晚中的全新虚拟技术应用进行解析。 相似文献
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中国移动高度重视NFV的发展,2014年的研究取得不错成绩,并计划携手合作伙伴推动NFV产业走向成熟。纵观整个NFV产业,标准化组织大力推进NFV的发展,全球运营商均积极进行NFV部署,全新商业模式、生态系统得到全面发展。据Analysys mason咨询公司预测,到2019年NFV产业规模将达到41亿美元。NFV的本质是网络设备的虚拟化和云化,虚拟化实现软硬件解耦,云化实现硬件资源的共享和系统随业务大小的自动伸缩,从而支撑业务的快速创新和快速上市。中国移动研究院网络所所长段晓东近期在相关 相似文献