半导体硅片表面缺陷光反射“魔镜”检测技术

本文报道应用古代“魔镜”成像原理和现代激光技术发展起来的一种新的光反射“魔镜”检测技术。采用这项技术可以非常直观,方便地观测到直径小于１５０ｍｍ的硅抛光片及硅外延片表面存在的缺陷情况,其分辨率为０．５μｍ,由于光反射“魔镜”检测技术是一种新型的光学无损检测技术,具有探测灵敏度高,快速,无破坏性,大面积检测等优点,该项技术检测将会有更加广泛的应用前景。     

白雪公主与猎人

冷酷无情的女王雷雯娜正在通过武力扩张着自己的版图,就在准备侵略泰伯国的时候,她突然得到了一个消息:她的继女——白雪公主,已经命中注定地要成为"世界上最美的女人",并且要取代她成为统一后的大王国的统治者。被关押起来的白雪公主费尽千辛万苦从牢里逃了出来,并跑到了黑暗森林中。得知这个消息的女王非常生气,她派出了自己手下的猎人埃里克前往黑暗森林,追杀白雪公主。在黑暗森林中,埃里克突然良心发觉,他非但没有杀死白雪公主,反而成了她的守护神。     

“魔镜”方法与晶体缺陷的检测

“魔镜”技术是我国西汉时期的一项创造发明，由此引发出的“魔镜”检测方法现在已被有效地应用于各种镜状表面缺陷的检测。本文介绍了“魔镜”检测原理以及我们采用激光技术发展起来的一种“魔镜”检测方法，并简要报道了用“魔镜”方法检测硅外延片表面缺陷及晶体内部生长不均匀等缺陷的最新成果。     

用魔镜方法检测硅片的生长管道和星形结构

检测硅抛光片及硅外延片中的生长管道和星形结构缺陷，常规的方法是化学腐蚀法。该广阔产片有破坏性，本文介绍一种检测硅片中生长管道和星形结构缺陷的新方法－“魔镜”检测方法。该方法对检测各种镜状表面具有无损、直观、快速有效等优点。用魔镜检测法与常规的化学腐蚀方法进行了比较，其结果吻合相当好。     

推开魔镜之门

今天,我们的生活中充满了各种密码,打开电脑需要密码,查询邮件需要密码,登录网络会员服务需要密码。开启这些大门的钥匙被简化为一串需要输入的数字,当然问题可以是更简单一些。你的声音,指纹,面相,那些与生俱来的唯一标识可以是更简单的钥匙。《真实的谎言》中的指纹门禁,《霹雳娇娃》中通过视网膜验证身份的大门,生物识别历来是电影界中常用的科技噱头。而现在,们都不再神秘。从2005年下半年开始,指纹识别技术就在笔记本电脑领域开疆扩土,IBM、富士通,HP的高端笔记本纷纷开始使用指纹识别系统。而与人类最为亲密的电子产品——手机,也正在与我们的隐私生活、商业活动越来越紧密相关。渐渐地,手机上开始留下个人生活和工作的痕迹,其使用安全年和隐私安全的需求突显出来。走在3G前沿的日本,人们已经习惯使用带有生物识别的手机在自动贩卖机上购物。所有这些都告诉我们:生物识别的时代已经来了——它将附身手机。由此,手机变身为魔镜。     

镜面无损检测系统

介绍了基于“魔镜”技术原理研制的镜面无损检测系统,该检测系统已应用于Ｓｉ片和其他半导体抛光晶片的质量检测,且其用途已延已延伸到与超平镜面有关的各种技术领域,如硬盘光盘、玻璃衬底等。