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1.
2.
《微纳电子技术》2019,(6):480-485
玻璃材料近年来被广泛应用于微电子机械系统(MEMS),对于玻璃材料的加工,电化学放电加工(ECDM)是一种被广泛运用的手段。针对目前的电化学放电加工存在热影响区和过切现象的问题,提出了一种激光辅助电化学放电加工玻璃的加工方法,阐述了其作用机理,设计了实验装置,并与传统电化学放电加工进行了微通道加工的对比实验。通过与传统电化学放电加工对比,发现激光辅助电化学放电的加工方式能明显减少放电加工过程中的热影响区和过切现象,故激光辅助有效改善了电化学放电在玻璃材料上加工微通道的质量和精度,在MEMS领域具有良好的应用前景。  相似文献   
3.
扭臂式静电微驱动器的pulli-n现象分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
从扭臂式微驱动器模型出发,分析了器件在静电驱动条件下pulli-n现象的产生条件,并给出公式化结果。讨论了器件的几何结构参数对于pulli-n现象的影响,并对具体结构的器件给出了pulli-n角度和pulli-n电压等方面的分析结果。对于特定的扭臂结构,pulli-n角度为悬臂梁最大扭转角度的44.04%,且与扭臂的结构参数无关。  相似文献   
4.
纳米AlN粉末的制备与烧结   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用低温燃烧合成前驱物制备出平均粒度为100 nm的AlN陶瓷粉末,比较了该粉末的常压烧结和放电等离子烧结的特性.实验表明:以合成的AlN粉末为原料,添加5%(质量比)Y2O3作为烧结助剂,在常压、流动N2气氛下1600℃保温3 h,制备出平均晶粒尺寸为4~8 μm、密度为3.28 g·cm-3的AlN陶瓷;将同样的粉末不加任何烧结助剂,采用SPS技术在1600℃保温4 min,得到密度为3.26 g·cm-3的AlN陶瓷,晶粒度约为1~2μm.  相似文献   
5.
新标准     
GB/T19951-2005《道路车辆 静电放电产生的电骚扰试验方法》;GB4706.11—2004《家用和类似用途电器的安全 快热式热水器的特殊要求》;GB4706.7—2004《家用和类似用途电器的安全 真空吸尘器和吸水式清洁器具的特殊要求》[编者按]  相似文献   
6.
《电子产品世界》2003,(7B):107-107
加利福尼亚微设备公司推出CM1213和CM1214 PicoGuard超低电容静电释放(ESD)保护产品。CM1213用于保护电脑,外围设备和消费电子产品的高速输入/输出端口。该产品以低电容(IpF)和高集成度(单一包装内多达8个通道),为每个IEC61000-4-2 Level 4规格提供8kV的接触保护。  相似文献   
7.
高功率脉冲水中放电的应用及其发展   总被引:7,自引:0,他引:7  
首先介绍了高功率脉冲水下放电的机理,然后综合论述了其应用和研究的状况,从较为成熟的脉冲水处理技术到医疗领域的ESWL应用技术,以及在脉冲电场食品杀菌和水下目标探测方面的最新发展和研究,最后指出了高功率脉冲电技术应用前景以及进行更系统和深入研究的必要性。  相似文献   
8.
《电子设计应用》2004,(1):103-104
随着系统的变大,减小功耗在许多电子系统中变得更加重要,设计人员利用各种电源管理方案,为各子系统提供刚好必须的电源。关闭各个部分的电源很容易,而重新接通某部分的电源时,不仅应该考虑加电期间各步骤的次序,而且需要考虑系统中的设计变化,以确保加电成功。运算放大器加电需要遵循以下三步:(1)要有合适的接地;(2)加电前放大器输入引脚上无电压;(3)给放大器加电。第一步通常很容易,多数时候放大器的接地引脚直接接地。第三步中如果加电太快或太慢可能会带来问题。困难的是第二步,确保加电之前输入引脚上没有电压。在放大器加电时,输入引脚…  相似文献   
9.
硅微机械梳齿静电谐振器的建模与分析   总被引:5,自引:2,他引:3  
李宏生 《压电与声光》2002,24(5):421-424
基于参数化的计算机辅助设计(CAD)软件,对硅微机械梳齿静电谐振器进行了实体建模,以有限元分析软件为工具,进行了谐振器的模态分析,静态分析和谐响应分析,初步揭示了谐振器的静、动态特性,有助于改善设计效率和质量,展示了计算机辅助工程(CAE)技术在微机电系统(MEMS)研究中的重要作用。  相似文献   
10.
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