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1.
该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
2.
对石英音叉增强型光声光谱(QEPAS)系统中常用的石英音叉进行了有限元模态计算,获得石英音叉前6阶振型与模态频率,认知了第4阶对称摆动振型为有效振动,利用单因素法分析了石英音叉的音臂长度l1、音臂宽度w1、音臂厚度t、音臂切角θ、音臂圆孔直径d及音臂圆孔高度h对低阶有效共振频率(Fre)的影响,敏感度依次为: l1> w1>d>θ>t>h,考虑实际设计情形,筛选出了l1,w1,d与h四个石英音叉设计变量,采用Box-Behnken实验设计方案与RSM(response surface methodology)方法,以Fre为函数目标,建立l1,w1,d与h的二次回归响应面模型,得到了参数之间的交互作用,利用Design-Expert软件对响应面模型进行设计参数反求,结果表明,在15 000 Hz≤Fre≤25 000 Hz计算区域内误差较小,基本满足QEPAS系统的计算需求,所提出的研究与设计方法具有一定通用性,可为QEPAS系统中石英音叉结构参数设计提供参考。 相似文献
3.
4.
异构数据集成方法研究与实现 总被引:4,自引:4,他引:0
王行荣 《微电子学与计算机》2006,23(4):172-173,176
为解决异构数据集成的复杂性问题,文章提出了一种异构数据同步的新方法——半集成式中间件法。该方法成功地应用在重庆市社会保障综合信息系统中,具有易于实现、可扩展性、跨平台性和效率高等特点。 相似文献
5.
6.
Mark Parsons Tony Allen 《今日电子》2006,(4):44-45
对于绝大多数微控制器时钟电路而言,硅振荡器是一种简单且有效的解决方案。与晶体和陶瓷谐振器不同,基于硅材料的定时器具有抗振动、抗撞击和抗电磁干扰的优点。同时,硅振荡器不需要严格匹配的定时元件和线路板走线。 相似文献
7.
硅微机械梳齿静电谐振器的建模与分析 总被引:5,自引:2,他引:3
基于参数化的计算机辅助设计(CAD)软件,对硅微机械梳齿静电谐振器进行了实体建模,以有限元分析软件为工具,进行了谐振器的模态分析,静态分析和谐响应分析,初步揭示了谐振器的静、动态特性,有助于改善设计效率和质量,展示了计算机辅助工程(CAE)技术在微机电系统(MEMS)研究中的重要作用。 相似文献
8.
本文概述了石英晶体元件采用国际标准的情况,简要分析了IEC1178:IECQ石英晶体元件规范,根据我国压电行业标准化实际情况,提出了进一步开展采用国际标准工作的意义。 相似文献
9.
叙述了真空蒸发金属膜的形成过程和膜层结构,运用金属原子迁移理论分析了挠性力平衡力速度传感器石英摆片导带“断裂”故障,提出了增强可靠性的技术途径。 相似文献
10.