电子机械车削过程振动来源分析

车削过程中,振动的出现是有害的。振动的产生会严重影响被加工零件的表面质量,使其达不到技术要求而成为废品;振动严重时,甚至会使车削工作无法进行。因此查找振源,消除或减少振动,是十分必要的。     

高效光学加工技术

为验证国产大口径KDP晶体金刚石车床（图1）的加工能力，进行了多次试验。加工的φ150mm小于0．52的铝镜面已达到与俄罗斯机床同等水平。但同时进行的一轮KDP晶体车削试验，结果并不满意，其单次透射波前畸变近4λ，原因可能是KDP晶体的装夹存在问题，导致加工效率不佳。而且加工中还产生周期性波纹，可能是由于机床压缩空气供给系统的周期性启动，造成周期性的压力波动。     

X射线反射镜NiP芯模超精密车削技术研究

以聚焦型X射线反射镜的镍磷合金芯模为研究对象, 研究了单点金刚石超精密车削的切削深度、主轴转速、进给量等工艺参数对表面粗糙度的影响关系。结果表明,进给量对加工表面粗糙度影响相对最大,主轴转速、切削深度的影响呈弱相关关系。开展了NiP合金超精密车削工艺试验,得到切削深度、主轴转速、进给量的优化工艺参数,并初步建立了表面粗糙度预测模型。在此基础上,对Φ110 mm×140 mm的X射线反射镜镍磷合金芯模进行加工验证,获得了PV61.37~83.47 nm、RMS7.952~10.326 nm、Ra6.379~8.332 nm的表面粗糙度,圆度误差0.39 μm、斜率误差均方根值0.42 μm,满足X射线反射镜对芯模超精密车削需求,为后续大规格X射线反射镜超精密制造奠定了技术基础。     

基于Hilbert-Huang变换的车削颤振特征提取

针对车削加工过程中颤振现象,将希尔伯特-黄(Hilbert-Huang)变换方法引入到车削颤振特征提取中。通过对振动信号进行经验模态分解(EMD)获得一系列固有模态函数(IMF),筛选出合适的分量,计算敏感分量的方差和主要分量的瞬时能量分布,并将其作为判断车削发生颤振的依据。用实测振动信号验证了该方法提取的车削颤振特征量,可以作为颤振发生的判断依据。     

折-衍光学镜片的单点金刚石车削与检测

讨论了折-衍光学镜片的设计、加工和检测.结合设计采用单点金刚石车削工艺加工出了具有连续浮雕结构的折-衍光学镜片.对加工成的折-衍光学镜片采用先进的数字化检测,结果表明,面型精度为0.228μm,表面粗糙度为1.279 nm,台阶位置误差小于1/3波长.对折-衍光学镜片加工中产生的遮挡效应和光的透过率损失给出了定量的分析...     

金刚石车削在红外衍射光学元件加工中的应用

衍射光学元件（DOE）技术的发展和应用极大地改变了传统光学设计和制造方法。尤其在红外光学系统中，由于谱段的优势，折衍射混合式光学元件的应用得以快速推广。文中对金刚石单点车削加工技术在红外折衍射光学元件的设计和加工中的应用进行了讨论。     

微波网络腔体零件的车削加工技术

通过对微波网络器件的工艺分析,在满足零件性能的前提下,确定了该类零件在车加工中的工艺流程和工艺参数,为该类零件的加工制造确定了一种行之有效的工艺方法。     

基于像差特征分析的变焦光学系统装调

提出了一种基于像差特征分析的变焦系统共轴性装调方法。针对某型20倍变焦光学系统的装调,在分析变焦光学系统装调要求的基础上,通过采用光学定心加工技术,提高变焦系统各镜组内光学元件的同轴度;采用Zygo干涉仪,检测变焦系统在长短焦位置的像差特性分布;借助CodeV软件仿真计算各光学元件在系统中的公差灵敏度分布,并确定产生像差影响的敏感光学元件;在中心偏测量仪上,完成最终光学系统像质的调整。此外,还设计了一种变焦光学系统各动组间同轴度调试装置,对变焦相机主镜筒机械内孔轴线与直线导轨的平行性进行了精确测量,保证了动组组元光轴的同轴精度。装调结果表明:变焦系统成像质量有明显改善,像面一致性得到保证,长短焦轴上传递函数值分别优于技术要求值0.45和0.55,长短焦轴外0.7视场传递函数值优于0.25和0.35,实现了高精度装调,验证了该方法的可靠性。     

基于空间像主成分分析的光刻投影物镜波像差检测技术

基于空间像主成分分析的波像差检测技术是一种原位光刻机投影物镜波像差检测技术。本文对该技术的检测模型和工程技术进行了系统研究。分析了照明条件、检测标记、空间像扫描范围等影响因素对检测精度的影响。研究了空间像传感器模型,并通过仿真和实验验证了传感器模型的有效性。研究了空间像定心误差对检测精度的影响,对比了不同定心方法下波像差检测模型的性能表现。分析了不同降噪方法的空间像降噪效果,并基于空间像噪声模型,提出了一种新的空间像降噪方法。仿真与实验结果表明,在各种影响因素中,照明部分相干因子和F方向采样范围对像差检测精度影响较大。定心方面,在X方向上六项模型定心精度更高,F方向上三项模型与六项模型各有优劣。平均值降噪法可以有效滤除空间像噪声,提高像差求解精度。像差漂移量仿真测试结果表明,该技术可用于校正光刻机的短期像差漂移。本文对该技术还给出了工程应用建议。     

特殊螺纹的数控车削加工

瓶口、瓶盖模具螺纹的加工没有进刀、退刀位置,因此加工困难。本文通过分析该类螺纹加工的主要难点,提出解决这类螺纹加工的有效方案,实现一定的经济效益。