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基于模式理论光栅椭偏参数反演的数值模拟 总被引:5,自引:2,他引:3
将一种广泛用于求解系统优化问题的方法——正单纯形法,求解光栅的椭偏方程。首先,利用求解光栅的傅立叶模式理论对TE和TM波的复反射系数进行求解。然后计算出其相应的椭偏参数(△,Ψ),并在该值的基础上加入不同偏差的随机高斯噪声,将加入噪声后的值(△m,Ψm)作为模拟测量值。最后使用优化算法进行反演。通过对几种常用面形光栅椭偏参数的数值模拟,一方面表明傅立叶模式理论计算光栅的椭偏参数不仅精度高。而且速度快;另一方面表明利用正单纯形法得到的光栅参数值很接近于正演时假设的参数值,从而从理论上证明了利用椭偏法测量光栅各种光学参数的可行性。 相似文献
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随着工艺尺寸的缩小,IC设计的两大趋势是设计更复杂和对产品的设计周期要求更苛刻。在超深压微米IC设计中,设计的复杂性会导致信号完整性(SI)问题更加突出,从而会影响整个产品的设计周期。本文提出了SI概念以及影响它的因素,并针对其两个主要影响因素,串扰(crosstalk)和IR压降进行了分析讨论,并提出了解决的方案。 相似文献
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介绍一种经济实用的用普通磁带记录与回放超低频信号的方法,该方法在地质,建筑工程和医疗等行业中有一定的实用价值。 相似文献