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1.
该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
2.
讨论了输出终端带不等式约束情形的多输入多输出系统,说明了这些约束可以通过修改输入柔化系数而使其得以满足,在柔化系数的选择范围确定过程中,为了避免矩阵求逆,采用利用已知数据辨识参数的方法来确定柔化系数,从而使得问题简化。降低了计算量且加快了收敛速度。 相似文献
3.
PPTC组件不但提供了自复式的电路保护功能,而且相较于只能使用一次的普通保险丝,它还拥有许多其它的优点。 相似文献
4.
5.
6.
Cs-K混合蒸气中Cs(8D)+K(4S)碰撞能量转移 总被引:3,自引:3,他引:0
在Cs-K混合蒸气中,两步激发Cs原子到8D态,观察了Cs(8D) K(4S)→Cs(5D) K(4P)碰撞能量合并逆过程(REP,reverse energy pooling)。应用双调制技术探测K(4P)原子发射的荧光,基态K原子密度用光学吸收方法测量。得到了REP速率系数,讨论了其它过程对速率系数的影响. 相似文献
7.
8.
本通过对线性方程组的系数矩阵的行与列的初等变换给出了求解线性方程组的方法,并通过对矩阵的初等变换给出了向量组正化的方法。 相似文献
9.
文[3]在研究各种二元对比排序效果时引入了一致系数的概念。本文得到了二元对比排序具有最大一致系数的若干个条件,并讨论了有关结果及应用。 相似文献
10.
针对VO2薄膜在微测辐射热计上的应用,采用射频反应溅射法,在室温下制备氧化钒薄膜;研究了氧分压对薄膜沉积速率、电学性质及成分的影响.通过调节氧分压,先获得成分接近VO2的非晶化薄膜,再在400℃空气中氧化退火,便可制得高电阻温度系数,低电阻率的VO2薄膜,电阻温度系数约为-4%/℃,薄膜方块电阻为R□为100—300kΩ;薄膜在室温下沉积,400℃下退火的制备方法与微机电加工(micro electromechanic
关键词:
二氧化钒
电阻温度系数
氧分压
射频反应溅射法 相似文献