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1.
该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
2.
三维异质异构集成技术是实现电子信息系统向着微型化、高效能、高整合、低功耗及低成本方向发展的最重要方法,也是决定信息化平台中微电子和微纳系统领域未来发展的一项核心高技术。文章详细介绍了毫米波频段三维异质异构集成技术的优势、近年来的发展趋势以及面临的挑战。利用硅基MEMS 光敏复合薄膜多层布线工艺可实现异质芯片的低损耗互连,同时三维集成高性能封装滤波器、高辐射效率封装天线等无源元件,还能很好地处理布线间的电磁兼容和芯片间的屏蔽问题。最后介绍了一款新型毫米波三维异质异构集成雷达及其在远距离生命体征探测方面的应用。 相似文献
3.
为了研究聚酰亚胺薄膜在308nm准分子激光下的剥离效果, 采用实验研究的方法, 分别探究了激光能量密度、光斑重叠率、脉冲频率、衬底温度对激光剥离效果的影响, 并结合显微镜观察剥离后的衬底和薄膜形貌。结果表明, 激光剥离能量阈值约为160mJ/cm2, 在激光能量密度为180mJ/cm2~190mJ/cm2左右、光斑重叠率为68.33%时, 剥离效果较好; 提高衬底温度有利于激光剥离过程。该研究对聚酰亚胺薄膜在柔性电子领域的工业化应用具有一定意义。 相似文献
4.
随着互联网的高速发展,引发了网络流量、电信骨干网流量急速增长,使得网络容量的提升迫在眉睫。目前,100G 系统已经商用,超100G系统能够更有效地解决流量和网络带宽持续增长带来的压力,本文主要介绍新型单模光纤的特性以及探讨基于新型单模光纤的传输技术。 相似文献
5.
本文采用脉冲激光沉积方法在LaAlO3(001)单晶衬底上制备了反钙钛矿GaCMn3薄膜,通过控制制备过程中脉冲激光的能量,研究了不同激光能量条件对GaCMn3薄膜结构与物理性能的影响.分别利用X射线衍射仪、原子力显微镜、超导量子干涉仪和物理性能测试系统,对所制备的薄膜的晶体结构、表面形貌和磁性、电输运性质进行了研究.结果表明,制备的样品均为具有多个晶面取向的反钙钛矿薄膜,且薄膜结构和物性明显随制备激光能量的变化而变化.当激光能量为450mJ时,制备的薄膜多晶面取向性最弱,结晶性和表面形貌最优良.实验所得的薄膜均表现出顺磁-铁磁-反铁磁相转变,然而转变过程比块材较平缓,同时薄膜的电阻率并未表现出块材中的突变特征,我们推测该现象很可能是由衬底的应力及衬底的晶格膨胀对薄膜反常晶格变化的抑制作用造成的. 相似文献
6.
辐射型漏泄同轴电缆的设计 总被引:2,自引:1,他引:1
总结了漏泄同轴电缆的理论研究现状。围绕使用频带和耦合损耗这两个重要电气参数,讨论辐射型漏泄同轴电缆的设计方法。基于周期性槽孔结构的空间谐波的分析,讨论了抑制高次谐波以拓展使用频带的方法。利用时域有限差分方法和Matlab软件计算耦合损耗。 相似文献
7.
8.
9.
光纤通信技术的飞速发展带动了光纤测试仪器的发展。主要对两种利用弯曲损耗对光纤进行检测的仪器——光纤识别仪、光纤对线器的原理、结构及其在光纤通信工程中的应用进行了阐述,两种仪器可以在不中断光纤通信的情况下对光纤进行检测,极大地降低了对光纤通信系统的影响,对光纤通信系统具有重要意义。 相似文献
10.
傅恩生 《激光与光电子学进展》2006,43(2):73-74
已经证实,由有机化合物组成的激光活性固体材料,在整个可见光谱区具有产生激光的能力。它们的潜力来自内在的优点,如有机化合物的调谐范围宽,有多种化合物可用,易于做工程实际装置。缺点包括实现直接电激励困难,以及缺少在紫外区发射的化合物。 相似文献