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1.
为了研究Compton散射对等离子体球太赫兹(THz)散射特性的影响,将多光子非线性Compton散射模型引入到该研究中,提出了将Compton散射作为影响等离子体球太赫兹散射的重要因素,给出了各向异性等离子体球散射场修正方程及介电常数张量、观测方位、极化状态等因素对THz波散射的影响,并进行了仿真实验。结果表明:微分散射截面随THz波频率变化近乎呈准谐振规律变化,较散射前增大了0.001;微分散射截面随观测方位和极化状态的变化较散射前增大了0.002。  相似文献   
2.
讨论了主因素分析法以及神经网络法在等离子体刻蚀工艺中的应用.结果表明主元素分析法可以实现对数据的压缩,而神经网络算法则显示出比传统的统计过程控制算法更好的准确性.  相似文献   
3.
等离子清洗技术   总被引:1,自引:0,他引:1  
  相似文献   
4.
5.
黄文英 《半导体技术》1997,(2):46-46,63
介绍了GaAs MMIC高台面刻蚀制备工艺方法,解决了高低台面联线问题,提高了单片集成电路性能,保证了可靠性。  相似文献   
6.
成功地在六路高功率Nd玻璃激光装置上建立了2660紫外激光探针和适合紫外波段的Normaski干涉仪,首次将可见波长的连续激光应用于紫外干涉仪中靶成像调整和光路准直。利用该紫外光干涉仪,在铜柱状靶(φ500μm)上测量了厚等离子体中高达0.6n。的电子密度。  相似文献   
7.
托卡马克工程试验混合堆等离子体性能的等值线图分析   总被引:3,自引:3,他引:0  
本文简要叙述托卡马克工程试验混合堆等离子体概念设计的物理基础,对等离子体性能进行了等值线图(Plasma Operation Contour)分析。根据工程试验混合堆的要求,得出一组等离子体参数。  相似文献   
8.
Recent experimental results of HL-1M tokamak and progress of HL-2A project are presented. Strong fishbone instability was observed during off-axis ECRH. This is first observation of the fishbone instability purely driven by energetic electrons produced by ECRH. The MBI was first proposed and demonstrated on HL-1M. Recently new results of MBI experiment were obtained by increasing the pressure of gas. A stair-shape density increment was obtained with high-pressure multi-pulse MBI just like the density evolution behavior during the multipellet injection. It is shown  相似文献   
9.
激光产生的铝、硅、氧、铜、硒等离子体X光谱   总被引:7,自引:3,他引:4  
利用长晶格的OHM晶体谱仪,从激光等离子体中获得丰富的铜、硒类氖、类氟、类钠离子的二、三、四级软X射线衍射光谱和铝、氧、硅的类氢、类氦、类锂离子一到四级谱,波长在14~40(?)之间,在此基础上,本文较为细仔地分析了各光谱结构.  相似文献   
10.
激光等离子体探针及应用研究   总被引:6,自引:1,他引:5  
本文介绍用阴影、纹影相干涉方法确定等离子体折射系数变化的原理。分析了等离子体中的非线性效应和对光探测系统的基本要求。并简要叙述了实验上采用的后向喇曼探测束,给出了等离子体干涉、纹影和阴影的测量结果。  相似文献   
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