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1.
微流控分析芯片制作中的低温键合技术   总被引:1,自引:0,他引:1  
微流控分析芯片制作方法的研究是微流控分析的基础。制作性能良好的微流控分析芯片时,基片与盖片的键合技术十分重要。本文针对近年来发展迅速的低温键合技术,对各种方法进行了评价,并对其发展前景进行了展望。  相似文献   
2.
光学材料的激光微加工研究进展与应用前景   总被引:2,自引:1,他引:1  
综述了国内外在光学材料激光微加工方面的研究成果和应用状况,并展望了其发展前景。  相似文献   
3.
介绍了进口纺织机械关键部件的关键工艺──涂辊高密度网格分布小孔的电火花加工技术。加工结果表明:用群电极电火花加工高密网络分布细小孔类零部件在加工精度,生产效率和生产成本等方面有很大优势。  相似文献   
4.
静电火花法表征塑料导爆管起爆感度探索   总被引:1,自引:0,他引:1  
提出了塑料导爆管轴向静电火花感度的概念、测试原理。用标准的静电感度测试仪配以一定结构的起爆针 ,建立了可用于导爆管感度测试的实验装置 ,采用升降法测出导爆管起爆所需静电能量并用它来表征导爆管的感度。用三种导爆管进行了感度测试 ,实验条件下其感度值E0 .50 分别为 0 .4 3、1.0 8、1.94J。  相似文献   
5.
微型电磁继电器的制作和仿真分析   总被引:4,自引:0,他引:4  
张宇峰  李德胜 《半导体学报》2002,23(12):1298-1302
介绍了一种基于MEMS技术的微型电磁继电器的制作过程和仿真分析.这种微继电器的大小约是4mm×4mm×0.5mm,主要采用普通的微加工技术来完成全部制作工艺.与传统继电器相比,这种继电器采用平面线圈来代替螺线管线圈,有利于MEMS工艺,并且提出了一种双支撑的悬臂梁结构做为活动电极,具有较高的灵敏性和稳定性.另外,还进行了一些有关线圈通过激励电流后对活动电极产生电磁力的理论计算和仿真分析,利用这些结果可以对这种电磁继电器的结构和参数进一步优化.  相似文献   
6.
根据电火花铣削等损耗理论,对用电火花铣削钛合金的加工中电极损耗补偿作了分析阐述。并根据正交试验的数据对理论分析结果进行对比,同时给出了一定的结论和建议。  相似文献   
7.
电火花铣削钛合金加工工艺研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
在全面试验的基础上,对电火花铣削钛合金进行了初步研究,给出了电火花铣削钛合金的影响因素及其指标的关系曲线。并对其进行了数据分析。试验表明,冲油电火花铣削是加工钛合金的有效方法。  相似文献   
8.
建立以二极管泵浦的Nd:YAG连续固体激光器为基础的微结构加工平台。激光器谐振腔输出基横模,输出波长1064nm,采用调Q技术压缩脉宽,激光器输出峰值功率大于10w,可选择连续及脉冲工作方式。  相似文献   
9.
杨国伟 《半导体光电》1993,14(4):337-339
介绍了两种制备多孔硅的方法:电火花刻蚀法和激光辐射腐蚀法。讨论了这两种新方法制备的多孔硅样品的结构和发光特性,同时,与电化学法制备的多孔硅的结构和发光特性进行了比较。最后指出这两种新方法对于多孔硅形成机理和发光机制研究是有所帮助的。  相似文献   
10.
电火花线切割用脉冲电源顾水方1.引言电火花加工机床包括电火花成型加工机床、电火花线切割加工机床、电火花深孔加工机床等几种,普遍应用于模具加工行业,其中尤以电火花线切割加工机床的应用为最广。高频(音频或超音频)脉冲电源则是电火花加工技术的重要支柱。这里...  相似文献   
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