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用改进的离子束增强沉积方法和恰当的退火从V2O5粉末直接制备了VO2多晶薄膜.实验测试表明,薄膜的取向单一、相变特性显著、结构致密、界面结合牢固、工艺性能良好,薄膜的电阻温度系数(TCR)最高可达4.23%/K.从成膜机理出发,较详细地讨论了离子束增强沉积 VO2多晶薄膜的TCR高于VOx薄膜的TCR的原因.分析认为,单一取向的VO2结构使薄膜晶粒具有较高的电导激活能,致密的薄膜结构减少了氧空位和晶界宽度,使离子束增强沉积 VO2多晶薄膜结构比其他方法制备的VOx薄膜更接近于单晶VO2是其具有高TCR的原
关键词:
VO2多晶薄膜
离子束增强沉积
热电阻温度系数 相似文献
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为扩大流速传感器的测量范围并降低功耗,制造并测试了一种基于自加热非晶锗薄膜热电阻的MEMS流速传感器,它是由嵌入氮化硅薄膜的四个非晶锗热敏电阻和一对环境测温补偿电阻组成。四个非晶锗热电阻同时作为自加热热源和测温元件,相互连接以形成惠斯通电桥。给出了MEMS工艺流程,微加工制造了尺寸为8.9 mm×5.6 mm×0.4 mm的流速传感器芯片。搭建了低流速和高流速气流通道实验装置,对传感器的惠斯通电桥施加50μA的恒定电流(CCA),实现了0~50 m/s范围内的流速测量。结果表明,传感器在低流速(0~2 m/s)时的灵敏度约为81.6 mV/(m/s),在高流速(2~50 m/s)时的灵敏度约为51.9 mV/(m/s),最大功耗仅约为1.03 mW。 相似文献
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针对常规分立双积分AD只能处理单端信号的问题,给出了一种输入和基准电压均支持差分信号的分立差分双积分AD。在热电阻测量中,把热电阻和基准电阻串联同一回路,以基准电阻压降作为基准,对热电阻的压降进行测量,并从软硬件两个方面对常见的误差因素进行对消处理。实验表明,该电路用于PT100测温时,跳字不超过0.1℃,精度可以达到±0.1℃,且对运放型号无特殊要求,是一种低成本、高精度的温度测量方案。 相似文献
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提高压电射流角速度传感器性能的途径 总被引:3,自引:0,他引:3
报导了提高压电射流角速度传感器性能的途径.通过改进结构和工艺提高了压电射流角速度传感器的零位重复性、稳定性,减低了交叉耦合.实验结果表明零位重复性从原来的0.2(°)/S提高到0.1(°)/S,交叉耦合从原来的2%减小到1%. 相似文献
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针对Pt100铂热电阻温度计算问题,详细分析了牛顿法与解析法的应用特性,在VC 6.0编程环境下对比了两种方法的绝对计算精度以及相对运行速度。结果表明,牛顿法的计算精度高,误差较小,运行速度快。解析法虽无模型误差,但实际数值的计算误差较大,且运算速度较慢,相比而言,牛顿法是较好的选择。使用牛顿法解决铂热电阻的温度计算问题,在工业控制领域具有广泛的应用价值。 相似文献
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测温仪表中有一种铂热电阻陶瓷骨架感温元件,原设计由φ0.3铂丝绕在φ0.5铂支强线上作为引线。为节约铂贵金属,改设计用一支φ0.4的、高温强度良好的铂合金丝,以代替二支φ0.3和φ0.5的铂丝。但由于这种铂合金太硬,元件装配时不易操作,现设计在铂合金丝的一端,用激光焊接工艺, 相似文献
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Entropy resistance analyses of a two-stream parallel flow heat exchanger with viscous heating
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Heat exchangers are widely used in industry, and analyses and optimizations of the performance of heat exchangers are important topics. In this paper, we define the concept of entropy resistance based on the entropy generation analyses of a one-dimensional heat transfer process. With this concept, a two-stream parallel flow heat exchanger with viscous heating is analyzed and discussed. It is found that the minimization of entropy resistance always leads to the maximum heat transfer rate for the discussed two-stream parallel flow heat exchanger, while the minimizations of entropy generation rate, entropy generation numbers, and revised entropy generation number do not always. 相似文献